无尘、无氧化型循环烤箱


機台用途及使用對象
本設備適合使用於無塵室100級以上的烘烤製程,產品在加熱過程中容易產生氧化的加工物及防止微塵附着,均建議用此烤箱烘烤,以電子產業中的袪除水份、膠乾燥、調質、預熱為主,如IC 封裝前後製程、晶圓烘烤、LCD製程應用、…等。

機台特性
1. 材質:內膛採用304#無磁性鏡面不鏽鋼製作。
   外膛採用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理後兩層防光面塗裝烤漆可防止微塵Particle。
2. 內箱採全機氬焊熔接;外膛施以矽膠填縫;內外結合,並採用矽膠迫緊;可得最佳之無氧、無塵之烘烤環境。
3. 層流風路設計:配合爐內飽和釋壓機構可得最勻稱之均勻分佈溫度
4. 附件:耐高溫溼日制HEPA filter(99.97%)、附壓差計

規格:

型式

CNCR-1

CNCR-2

CNCR-3

CNCR-4

備註

內尺寸 
W×D×H(cm)

40×50×40

60×50×60

60×50×90

80×50×100

   1.室溫+0℃~250℃(制式)
   2.H為350℃機種

外尺寸 
W×D×H(cm)

103×72×98

85×84×148

85×84×178

104×113×190

電力

220V 1Ø/3Ø 3KW

220V 3Ø 5KW

220V 3Ø/3Ø 7.5KW

220V 3Ø/3Ø 9KW

保溫

進口岩石棉保溫絕熱(H型再加2層耐1260℃陶瓷棉)

保護

電子;機械雙重迴路系統保護;超溫保護;無塵型加壓差指示

進氣量

N2; CO2 MAX: 25 l/min. (at 0.5 kg/cm2G ; 20℃)




*本公司對產品規格、設計特性均不斷研究改進,上述規格若有變更,恕不另行通知。*




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